深圳无尘车间的定义

　一、洁净室之构成

无尘车间由下列各项系统所组成，且缺一不可，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘车间。
(1)天花板系统：包括吊杆、钢梁)、天花板格子梁。
(2)空调系统：包括送风、过滤器系统、回风系统、风机等。
(3)隔墙板：包括窗户、门。
(4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。
洁净室之建筑主体构造，一般是用夹心彩钢板，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；
B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
C.吸湿性小；
D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；  

二、无尘车间的主要特点

1. 能有效除去空气中悬浮微尘粒子。
2. 能有效防止微尘粒子之产生。
3. 能有效控制无尘车间的温度和湿度。
4. 室内的 压力调节。
5. 能有效排除有害气体。
6. 无尘车间内的密封性。
7. 静电之防护。

三、无尘车间的规格

1.乱流式(Turbulent Flow)：
洁净空气经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入无尘车间，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染产品。另外若系统停止运转再激活，要达到要求的洁净度，需要消耗相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)： 层流式空气气流运动形式，成一均匀直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘车间等级要求较高的环境，一般无尘车间等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换
(2)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)：
复合式是将乱流式和层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI生产大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体行业均适用。
(3)并装局部无尘室，将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
无尘车间是指将特定空间内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一要求范围内，而所给予特别设计的房间。不论外在之空气条件如何变化，无尘车间内均能维持原先所设定的参数和性能。 　　 无尘车间最主要的功能在于使产品所接触空气的洁净度及温湿度，控制在要求范围内，使产品能在一个良好的环境中生产、制造。
　　世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
　　 209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
　　 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准的表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。